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获奖题目:
获奖编号:
获奖时间:	2017年
获奖名称:	22-14纳米集成电路器件工艺先导技术
主要完成人:	叶甜春，徐秋霞，陈大鹏，殷华湘，霍宗亮，张卫
完成单位:	bat365在线中国登录入口所、武汉新芯集成电路有限公司、复旦大学
成果介绍:
获奖类别:	2017年国家技术发明奖二等奖
获奖等级:
授奖部门:	中华人民共和国国务院
开始日期:
结束日期:
登记人: