| 获奖题目: | |
| 获奖编号: | D02-2007-025 |
| 获奖时间: | 2008年12月 |
| 获奖名称: | 100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化 |
| 主要完成人: | 赵晋荣、张伯旭、耿锦启、张建勇、李东三、王宝全、李 兵、孙 岩、张秀川、刘利坚、赵梦欣、南建辉、夏 威、白志民、徐 华 |
| 完成单位: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司、bat365在线中国登录入口所、清华大学、北京大学 |
| 成果介绍: | |
| 获奖类别: | 北京市科学技术奖一等奖 |
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| 授奖部门: | 北京市人民政府 |
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