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获奖题目:
获奖编号:
获奖时间:	2008年
获奖名称:	90-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究
主要完成人:	徐秋霞
完成单位:	北京大学、中芯国际、浙江大学、西安电子科技大学、中科院我院、清华大学
成果介绍:
获奖类别:	2008年国家科技进步二等奖
获奖等级:
授奖部门:
开始日期:
结束日期:
登记人: